什么是四極桿分析？
?什么是四極桿分析？
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微極分析儀
MICROPOLE系統(tǒng)的特色是MICROPOLE分析儀（MPA），
它利用超精密光學(xué)蝕刻技術(shù)和玻璃/金屬粘合技術(shù)將九個(gè)四極桿組合在一起。
該MPA的開發(fā)產(chǎn)生了世界上最小的殘余氣體分析儀，其性能相當(dāng)于或優(yōu)于大型質(zhì)譜儀。
該分析儀為插入式單元型，
只需安裝已預(yù)先校準(zhǔn)分壓的傳感器單元即可測(cè)量總壓和分壓的絕對(duì)值
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測(cè)量原理
RGA 由離子源、質(zhì)譜儀和測(cè)量部分組成。殘余氣體通過與高溫?zé)艚z發(fā)射的熱電子碰撞而電離，
產(chǎn)生的離子被加速、聚焦并引導(dǎo)至質(zhì)譜儀。
在質(zhì)譜儀中，通過向四個(gè)圓柱形電極（四極）施加直流和交流電壓來篩選離子質(zhì)量。
分離出的離子在法拉第杯中被檢測(cè)為電流，該離子電流與殘留氣體量（分壓）成正比。
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