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X射線顯微鏡的應(yīng)用

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X射線顯微鏡的應(yīng)用

X射線顯微鏡主要用于工業(yè)領(lǐng)域的研究和開發(fā)以及制造現(xiàn)場(chǎng)的檢查。由于X射線可用于非接觸式、非破壞性檢查,因此常用于元件缺陷檢查和特性檢查。還可以對(duì)巖石等進(jìn)行結(jié)構(gòu)評(píng)估,并獲取用于作為新原材料表征的參數(shù)。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,它越來越多地被用來評(píng)估超精細(xì)加工產(chǎn)品的特性。當(dāng)觀察含有大量水分的生物樣品時(shí),利用吸水率低的X射線波長(zhǎng)區(qū)域可以獲得高對(duì)比度圖像。

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